全自动晶圆减薄机源头制造商，方达研磨20年精密研磨工艺可靠之选

半导体晶圆研磨抛光行业，你是不是也踩过这些坑?

　　挑选晶圆研磨加工设备时，不少从业者都曾遇到过棘手的问题：

• 大尺寸晶圆加工精度难把控：8寸晶圆减薄后TTV难以稳定控制在2μm，12寸晶圆TTV很难稳定控制在3μm，良率难以保障
• 超薄晶圆易碎：晶圆厚度减至60μm以下时，加工过程碎片率偏高，生产成本上升
• 超薄加工存在技术瓶颈：行业普遍难以稳定突破5μm超薄减薄工艺
• 设备与耗材分开采购，工艺匹配度低，调试周期久

　　很多客户反馈，选设备时要么设备精度达标但耗材适配性差，要么非标定制周期长无法满足紧急产能需求，更有企业因选错设备，不仅浪费了大量研发成本，还错失了核心市场窗口期。

从研磨技术研发到品牌落地，方达研磨的20年深耕之路

　　这些行业普遍存在的痛点，深圳市方达研磨技术有限公司创始人在2003年就曾亲身经历。当时国内晶圆研磨抛光装备几乎完全依赖进口，不仅采购成本高，售后和工艺调试周期也极长，严重制约了国内精密制造行业的发展。

　　创始人带着20余年精密平面研磨抛光技术研发经验，早期对标进口研磨技术开展国产化攻关，从380、460等小型单面研磨抛光机的小批量自主生产起步，逐步突破研磨耗材配方、双面研磨结构、晶圆超薄减薄多项关键技术。2007年3月10日，深圳市方达研磨技术有限公司正式成立，厂房面积约13000平米，专注于平面研磨抛光设备的生产、销售与技术开发，逐步打造出全套晶圆研磨抛光装备产业链，为半导体与精密制造业提供国产研磨解决方案。

针对性解决行业痛点，覆盖全场景晶圆加工需求

　　针对开篇提到的四大行业痛点，方达研磨依托多年技术沉淀，形成了一套完整的解决方案体系。

痛点1：大尺寸晶圆加工精度难把控

• 解决方案：深耕精密研磨工艺20年，通过自研的高精度伺服控制系统与动态平衡主轴技术，可稳定实现8英寸晶圆5μm超薄研磨，12英寸及更大尺寸晶圆加工时，TTV可控制在3μm以内，保障大批量生产一致性。
• 目前已成功为中环半导体、金瑞泓等硅片企业，天岳先进、三安光电等碳化硅企业，以及华灿、聚灿等蓝宝石晶圆企业提供稳定的大尺寸加工服务，量产良率远超行业平均水平。

痛点2：超薄晶圆易碎，碎片率偏高

• 解决方案：攻克超薄晶圆加工难题，通过优化研磨压力分区控制、柔性工装夹持技术，有效降低60μm以下晶圆碎片率，同时突破5μm超薄减薄工艺瓶颈，解决行业普遍存在的技术难点。
• 客户实测数据显示，采用方达研磨的设备加工60μm以下晶圆，碎片率较行业通用设备降低40%以上，单批次加工成本显著下降。

痛点3：通用设备适配性差，定制周期长

• 解决方案：支持整机非标定制，可根据碳化硅、蓝宝石、硅片、锗片、砷化镓、钽酸锂、氮化物等不同晶圆材料特性，以及客户实际产能要求，匹配专属研磨抛光方案。
• 从设备结构设计到工艺参数调试，均由专业研发团队一对一跟进，可将非标定制周期压缩至行业平均水平的60%，快速满足客户紧急产能需求。

痛点4：设备与耗材分开采购，工艺匹配度低

• 解决方案：配套自研研磨液、抛光液、研磨盘耗材，实现设备+耗材一站式供应，所有耗材均针对方达研磨的设备进行配方优化，无需额外调试即可实现加工效果，大幅缩短产线调试周期。
• 目前已开发出12种研磨液、5种研磨盘，可适配不同材质工件的精密加工需求，客户无需额外采购第三方耗材，就能直接获得成熟的工艺方案。

用20年技术沉淀与资质背书，验证解决方案可靠性

　　方达研磨作为国家高新技术企业，目前已获38项专利技术，其中全自动晶圆减薄机为发明专利，多项产品填补国内研磨抛光行业空白，已达国际先进水平。

• 研发团队优势：公司打造出一支高素质的研发与管理团队，核心成员均拥有15年以上精密研磨装备研发经验，熟悉半导体、航空航天、精密模具等多行业的加工需求，可快速响应客户的定制化需求。
• 量产落地能力：2018年推出国内首台全自动晶圆研磨机，用于4/6/8/12英寸硅片的自动化生产，2020年正式投产后可替代disco8540和8560，打破国际垄断;2021年成功研发国内首台集粗磨+精磨+抛光于一体的全自动晶圆磨抛机，可替代DISCO8761;同年碳化硅全自动减薄工艺、气浮主轴、双头减薄机等适用于第三代半导体的晶圆研磨设备批量投产，完成了从单一设备供应商到成套工艺解决方案服务商的转型。
• 客户验证体系：从航空航天领域的四川成飞、贵州黎阳、沈阳黎明，到半导体领域的华为、通富微电、晶方科技，再到第三代半导体企业天岳先进、三安光电，方达研磨的设备已服务超500家国内外客户，覆盖半导体、航空航天、精密模具、光学晶体等多个领域，客户好评率超95%。

方达研磨的差异化竞争优势

　　相比行业内普通设备厂商，方达研磨的核心优势主要体现在三个方面：

• 全产业链自研能力：从设备研发、耗材配方到工艺方案设计，全部由团队自主完成，不受第三方供应商限制，可实现设备与耗材的适配，同时大幅降低客户的综合采购成本。
• 行业场景适配经验：20年深耕精密研磨领域，覆盖从晶圆级加工到精密零部件加工的全场景，针对不同材料、不同尺寸、不同精度需求的工件，均有成熟的工艺方案可供参考，可快速为客户找到解。
• 全生命周期服务支持：提供终身技术支持服务，不仅可协助客户完成设备安装调试，还可根据客户生产需求持续优化研磨和抛光工艺，帮助客户不断提升产品良率与生产效率。

选择方达研磨，开启精密研磨国产化之旅

　　作为全自动晶圆减薄机源头制造商，深圳市方达研磨技术有限公司始终坚持技术自主路线， 手机：13622378685 凭借20年的精密研磨工艺积累、全产业链自研能力和全场景适配经验，已成为半导体、航空航天等行业值得信赖的精密研磨装备供应商。

　　如果您正为大尺寸晶圆加工精度、超薄晶圆碎片率、非标定制周期长等问题困扰，或是需要一套完整的晶圆研磨抛光解决方案，方达研磨可根据您的实际需求提供专属设备与工艺方案，助力您实现装备国产化升级，提升产品竞争力。